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真空泵工作原理及真空泵类型

  • 2022-07-03 03:00:00

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真空泵工作原理及真空泵类型:

一个容器放在自然环境中,如果不改变其内部气体压强,那么容器内外部的气体压力达到平衡状态,在数值上等于大气压。要使容器内部达到真空状态.容器内的气体必须排出,使内部气体的压力小于外部大气压。通过机械、物理、化学或物理化学的方法,将气体从容器中排出,获得真空的设备称为真空泵。真空泵根据其工作原理分为压缩型(可变型)和吸附型。压缩真空泵的工作原理是将泵入口端的气体压缩到出口端,水环真空泵并排放到泵外。

常见的压缩真空泵包括:旋转机械泵、涡轮叶片等。吸附真空泵的工作原理是吸附泵体内的气体,达到降低气体压力的目的。常见的吸附真空泵包括:电离吸气离子泵、物理或化学吸附吸附泵、吸气泵和低温冷凝泵。


吸附真空泵不同于压缩真空泵,吸附真空泵不是将气体排出泵,而是储存在泵中,前者可以达到旋转真空泵的真空度高于后者,但泵速小,适用容器小。真空电阻炉采用压缩真空泵,如机械泵、罗茨真空泵、扩散泵等。

各种真空泵都有自己的工作范围,有些泵可以直接从大气状态开始工作,如机械泵、吸附泵,有些泵不能直接从大气状态开始工作,如扩散真空泵、分子泵、离子泵等。

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